Высокоточный одностанционный спин-котер для лабораторий НИОКР
Это...настраиваемый одностанционный спин-котерпредназначен для однородного отложения фоторезистора, полимида, сольгеля, наночастиц и других функциональных покрытий на субстраты.высокоточные НИОКР,встроенная горячая плитка, икрупноформатныйконфигурации.
Системаполностью настраиваемаяв диапазоне скорости вращения, размера субстрата, типа отверстия, материала чаши и уровня автоматизации.достижение толщины пленки отот нанометров до нескольких микроновс исключительной однородностью.
Ключевые преимущества:исключительная стабильность скорости (флуктуация < ± 1%);,работа с низкими вибрациями, иустойчивая к химическим веществам процессуальная чашаКомпактный дизайн скамейки идеально подходит для исследовательских лабораторий, пилотных линий и небольших производственных партий.Модульная архитектура поддерживает будущие обновления, включая множественные распределительные сотовые, азотную очистку и модули отопления на месте.
Технические спецификации
| Параметр |
Высокоточная модель НИОКР |
Интегрированная модель горячей плиты |
Большой формат / Производственная модель |
| Размер подложки (настраиваемый) |
Диаметр до 200 мм/кв. |
Диаметр до 200 мм. |
До 450 мм / 18" |
| Диапазон скорости вращения (настраиваемый) |
100 - 12 000 оборотов в минуту |
100 - 12 000 оборотов в минуту |
До 15 000 оборотов в минуту |
| Точность скорости |
±1 оборота в минуту или ±0,5% |
± 0,5% |
± 0,1% (сервомотор) |
| Диапазон ускорения (настраивается) |
100 - 10 000 оборотов/с |
Программируемый |
1 - 50 000 оборотов/с |
| Шаги программы (настраиваемые) |
10 программ, по 20 шагов каждый |
До 100 шагов/программа |
Неограниченное настройка |
| Тип вилки (настраиваемая) |
Вакуум (алюминий/PTFE/керамика) |
Вакуум (алюминий) |
Вакуумная/механическая застежка |
| Материал чашки (настраиваемый) |
PP / PTFE / Нержавеющая сталь 316L |
PP / PTFE |
Нержавеющая сталь |
| Температура горячей плиты (необязательно) |
Никаких |
Окружающая среда - 300°C |
Необязательно |
| Интерфейс управления |
4.3" LCD / 7" HMI |
7" HMI сенсорный экран |
PLC + HMI / на основе ПК |
| Экспорт данных |
USB (необязательно) |
USB / Ethernet |
USB / Ethernet / Modbus |
| Силовое питание (настраиваемое) |
110/220 В, 50/60 Гц |
110/220В |
220/380В, 50/60Гц |
| Типичное применение |
Полупроводники, OLED, перовскит |
Фоторезистентность + печь |
Промышленные панели, большие пластины |
Заявления
- Полупроводники и MEMS: фоторезистентное покрытие, электронная лучевая литография, спин-он стекло (SOG)
- Оптоэлектроника: OLED, квантовые тонкие пленки, антиотражающие покрытия
- Наука о материалах: Сол-гелевые отложения, наночастичные пленки, полимерные покрытия
- Биотехнологии: изготовление биосенсоров, покрытие микрофлюидных устройств
- Возобновляемая энергия: Перовскитные солнечные батареи, фотоэлектрические батареи с тонкой пленкой
- Оптическая промышленность: твердое покрытие линзы (с возможностью ультрафиолетового отверждения)
Ключевые особенности
- Высокоточный контроль вращения: Мотор без щетки с высоким крутящим моментом с точностью скорости ± 0,5% и программируемым ускорением обеспечивает повторяемое, равномерное покрытие
- Конструкция, ориентированная на НИОКР: Многоступенчатое программирование рецептов и возможности регистрации данных для систематического развития процессов
- Многофункциональные светильники: Настраиваемые колпачки и фиксаторы надежно удерживают сложные геометрические формы или хрупкие подложки
- Химически устойчивые конструкции: ПТФЕ, ПП или нержавеющая сталь для агрессивных растворителей
- Удобный интерфейсИнтуитивно понятный HMI с сенсорным экраном с хранилищем рецептов для быстрого запоминания оптимизированных параметров
- Компактный отпечаток: Дизайн скамейки экономит ценное пространство на лаборатории или производстве
- Безопасные блокировки: Автоматическая остановка при открытии крышки во время работы
- Отслеживаемость данных: хранение рецептов, мониторинг в реальном времени, экспорт через USB/Ethernet
Варианты настройки
Этот одностанционный спин-котерочень настраиваемыйдля удовлетворения ваших конкретных требований к приложению:
- Диапазон скорости вращения: от 50 об / мин до 15 000 об / мин -настраиваемый
- Дизайн и размер щеки: Вакуумные шкивы для круглых (до 450 мм), квадратных, прямоугольных или нерегулярных подложковполностью настраиваемая
- Материал чашки: полипропилен (ПП), ПТФЕ, нержавеющая сталь 316L -настраиваемыйдля устойчивости к растворителям
- Тип устройства: вакуумный цикл, механические зажимы или специальные 3D-принтеры -настраиваемый
- Система распределения: ручной шприц / автоматический насос шприца / соленоидный клапан / многонасосный массив -настраиваемый
- Интеграция отопления: Факультативные инфракрасные нагреватели на месте или горячие плиты до 300°C -настраиваемый
- Экологический контроль: очистка инертных газов (N2), контроль влажности, интеграция перчаток -настраиваемый
- Программа: Управление рецептами, регистрация данных, экспорт USB/Ethernet -настраиваемый
- Уровень автоматизацииПолностью ручная или полуавтоматическая с автоматизированной системой подачи и управления цикламинастраиваемый
- Безопасность: взаимосвязанные корпуса, аварийная остановка, сдерживание разливов -настраиваемый
Поддержка и услуги
- Бесплатное консультирование по процессу и испытание материалов - присылайте нам ваши субстраты
- Проектирование и инженерные услуги на заказ
- Установка на месте и ввод в эксплуатацию (настраиваемыйПакеты поддержки)
- Программа обучения операторов включена
- Удаленное устранение неполадок в течение 24 часов с помощью видеозвонка
- 18-месячная гарантия на двигатель и контроллер, 12-месячная на аксессуары
- Доступность запасных частей на региональных складах (США/ЕС/Азия)
- Пожизненная техническая поддержка по телефону, электронной почте или чату
Упаковка и перевозка
- Упаковка: Антистатическая пена + армированный деревянный корпус (с осушителем для чувствительных к влаге компонентов)
- Время выполнения стандартной модели: 15-25 дней после подтверждения заказа
- Время выполнения настройки: 30-45 дней (более длительное время для настраиваемых кружек или мисок)
- Морская перевозка: FOB Шанхай / CIF морским, воздушным или железнодорожным транспортом
- Настраиваемый: Экспортные ящики, маркировка по назначению, документация по порту назначения
Часто задаваемые вопросы
Вопрос 1: Какой максимальный размер подложки может выдержать этот спин-покрыватель?
A: Стандартные модели R&D обрабатывают до 150-200 мм (6-8") диаметром пластины.настраиваемыйВзрывы до450 мм (18")Поддерживаются также квадратные подложки размером до 150×150 мм.
Вопрос 2: Могу ли я использовать этот спин-покрытие для некруглых субстратов?
О: Да, мы предлагаемнастраиваемыйвакуумные чеки и механические фиксаторы для квадратных, прямоугольных и нерегулярных форм подложки.Пожалуйста, укажите размеры подложки для индивидуального дизайна светильников.
Вопрос 3: Какова типичная однородность толщины покрытия?
A: При надлежащей оптимизации процесса, однородность толщины может достичь< ± 1%Мы предлагаем бесплатные лабораторные испытания для подтверждения вашего конкретного применения.
Ваше сообщение должно содержать от 20 до 3000 символов!
Russian
