Промышленная система покрытия с двумя головками для производства с высокой производительностью

Это...настраиваемый двухстанционный спин-котерпредназначен для высокопроизводительного отложения тонкой пленки на подложках, таких как кремниевые пластинки, стекло и полимерные пленки.исследования,Чистая комната, ипромышленное производствоКонфигурации.полностью настраиваемаяв размере циркулятора, диапазоне скорости вращения, количестве шагов программы и способе подачи.Две независимые станции позволяют одновременную или чередующуюся работу - одна станция может покрываться, пока другая загружается/разгружаетсяИдеально подходит для фоторезистентного покрытия, отложения сол-геля и применения барьерного слоя в полупроводниковой, MEMS, оптической и печатной электронике.

• Полупроводники: фоторезистентное покрытие на кремниевых пластинах, устройствах MEMS
• Оптоэлектроника: Осаждение тонкой пленкой для светодиодов, солнечных батарей, плоских дисплеев
• Наука о материалах: Покрытия из сол-геля, полимера и нанокомпозита
• Биомедицинская: Изготовление биосенсоров и микрофлюидных устройств
• Печатная электроника: Осаждение проводящей чернил на гибких подложках
• Опаковка: Барьерное покрытие на контейнерах для пищевых продуктов и бумажных изделиях

Этот двухстанционный спин-котерочень настраиваемыйдля удовлетворения ваших конкретных требований к приложению:

• Дизайн и размер щеки: Вакуумные швы, специально изготовленные для подложки от 10 до 450 мм
• Диапазон скорости вращения: Расширяется до 15 000 оборотов в минуту для применения сверхтонкой пленки
• Количество станций: Расширяется до 3 или 4 станций для многопартовой обработки
• Система распределения: Ручные, полуавтоматические или полностью автоматизированные с сервоуправляемыми насосами
• Экологический контроль: Чистая комната (класс 10-100 000), очистка инертных газов, контроль влажности
• Тепловая интеграция: Встроенная горячая пластина (до 300°C) или модуль ультрафиолетовой отвердительной обработки
• Автоматизация: Загрузка/разгрузка с помощью роботов, интеграция конвейеров, обработка партий
• Материал корпуса: ПТФЕ, устойчивое к растворителям, из нержавеющей стали или взрывостойкое изделие

• Параллельная обработка: две станции работают независимо - покрытие и загрузка одновременно, удвоение пропускной способности по сравнению с едиными станциями
• Независимый контроль рецептурыКаждая станция работает с различными материалами или параметрами вращения одновременно.
• Высокая точность: Бесчещевой постоянный ток или сервомотор с стабильностью ±1 оборота в минуту для исключительной однородности
• Химически устойчивая камера: Конструкция из нержавеющей стали с устойчивым к растворителям покрытием для совместимости с чистыми помещениями
• Безопасные блокировки: перекрытие крышки и аварийная остановка на каждой станции
• Отслеживаемость данных: хранение рецептов, мониторинг в реальном времени, экспорт через USB/Ethernet (необязательно)
• Низкое содержание: конструкция без вибраций с герметизированными подшипниками

• Бесплатное консультирование по процессу и испытания материалов (направьте нам ваши субстраты)
• Установка на месте, калибровка и обучение оператора
• 12-месячная гарантия на все компоненты, пожизненная техническая поддержка
• Доступность запасных частей (качки, насосы, двигатели) в течение 48 часов
• Удаленное устранение неполадок посредством видеозвонка или мониторинга Интернета вещей (настраиваемое)

• Упаковка: Антистатическая пена + арматура из фанеры (с осушителем для компонентов, чувствительных к влаге)
• Морская перевозка: FOB Шанхай / CIF по морю, по воздуху или по железной дороге.

О: У двухстанционных машин есть одна система управления и один рабочий участок, позволяющий одному оператору загружать/разгружать одну станцию, в то время как другой занимается покрытием - исключая время простоя.Это приводит к более низким общим инвестициям, меньшее пространство лаборатории и более высокая производительность.

Каждая станция имеет независимые программируемые элементы управления, что позволяет одновременно покрывать различные материалы или размеры подложки без перекрестного загрязнения.

А: ЧаксынастраиваемыйМы предлагаем стандартные вилки для круглых пластин (2"-12") ина заказ, с механическими механизмамидля квадратных, прямоугольных или нерегулярных субстратов.