Промышленная система покрытия с двумя головками для производства с высокой производительностью
Промышленная двойная головка спина покрытия системы
,настраиваемый Чак спина покрытия
,Автоматическая распределительная целлюлозная литья машина
Это...настраиваемый двухстанционный спин-котерпредназначен для высокопроизводительного отложения тонкой пленки на подложках, таких как кремниевые пластинки, стекло и полимерные пленки.исследования,Чистая комната, ипромышленное производствоКонфигурации.полностью настраиваемаяв размере циркулятора, диапазоне скорости вращения, количестве шагов программы и способе подачи.Две независимые станции позволяют одновременную или чередующуюся работу - одна станция может покрываться, пока другая загружается/разгружаетсяИдеально подходит для фоторезистентного покрытия, отложения сол-геля и применения барьерного слоя в полупроводниковой, MEMS, оптической и печатной электронике.
| Параметр | Модель высокоскоростного исследования | Интегрированная модель чистой комнаты | Модель промышленного производства |
|---|---|---|---|
| Количество станций | 2 независимые | 2 независимые | 2 независимых (или настраиваемых до 4) |
| Диапазон скорости вращения | 300 - 10 000 оборотов в минуту | 500 - 8000 оборотов в минуту | 100 - 3000 оборотов в минуту (настраивается до 15 000) |
| Точность скорости | ±1 оборота в минуту | ± 3% | ± 1 оборота в минуту (серво) |
| Управление ускорением | Программируемый многоступенчатый | Регулируемый PID | Программируемый многоступенчатый |
| Размер подложки (настраиваемый) | До 200 мм (8") на станцию | До 300 мм (12") на станцию | До 450 мм (18") - настраиваемая |
| Программируемые этапы | 10 шагов на станцию | 5 шагов на станцию | На основе рецепта (неограниченное количество) |
| Вакуумная система | Независимый насос на станцию | Совместные + соленоидные клапаны | Независимый насос высокого потока |
| Уровень чистоты (не обязательно) | Никаких | Класс 100 (Fed Std. 209E) | Класс 1000 или настраиваемый |
| Материал корпуса | Нержавеющая сталь / ПТФЕ | Нержавеющая сталь + антикоррозия | Химически устойчивое покрытие |
| Система распределения | Ручная шприц / сосна | Полуавтоматический насос измерения | Автоматическое дозирование на сервоприводе |
| Интерфейс | 7 дюймовый сенсорный экран на станцию | Двойные сенсорные экраны | PLC + HMI с регистрацией данных |
| Электрическое питание | AC 110/220В, 50/60Гц | Обменное давление 220 В, 50/60 Гц | AC 380V, 50/60Hz (настраиваемый) |
| Размеры | ~ 700×400×300 мм | 650×750×1620 мм | Настраиваемый |
| Вес | ~ 28 кг | ~ 120 кг | Настраиваемый |
- Полупроводники: фоторезистентное покрытие на кремниевых пластинах, устройствах MEMS
- Оптоэлектроника: Осаждение тонкой пленкой для светодиодов, солнечных батарей, плоских дисплеев
- Наука о материалах: Покрытия из сол-геля, полимера и нанокомпозита
- Биомедицинская: Изготовление биосенсоров и микрофлюидных устройств
- Печатная электроника: Осаждение проводящей чернил на гибких подложках
- Опаковка: Барьерное покрытие на контейнерах для пищевых продуктов и бумажных изделиях
Этот двухстанционный спин-котерочень настраиваемыйдля удовлетворения ваших конкретных требований к приложению:
- Дизайн и размер щеки: Вакуумные швы, специально изготовленные для подложки от 10 до 450 мм
- Диапазон скорости вращения: Расширяется до 15 000 оборотов в минуту для применения сверхтонкой пленки
- Количество станций: Расширяется до 3 или 4 станций для многопартовой обработки
- Система распределения: Ручные, полуавтоматические или полностью автоматизированные с сервоуправляемыми насосами
- Экологический контроль: Чистая комната (класс 10-100 000), очистка инертных газов, контроль влажности
- Тепловая интеграция: Встроенная горячая пластина (до 300°C) или модуль ультрафиолетовой отвердительной обработки
- Автоматизация: Загрузка/разгрузка с помощью роботов, интеграция конвейеров, обработка партий
- Материал корпуса: ПТФЕ, устойчивое к растворителям, из нержавеющей стали или взрывостойкое изделие
- Параллельная обработка: две станции работают независимо - покрытие и загрузка одновременно, удвоение пропускной способности по сравнению с едиными станциями
- Независимый контроль рецептурыКаждая станция работает с различными материалами или параметрами вращения одновременно.
- Высокая точность: Бесчещевой постоянный ток или сервомотор с стабильностью ±1 оборота в минуту для исключительной однородности
- Химически устойчивая камера: Конструкция из нержавеющей стали с устойчивым к растворителям покрытием для совместимости с чистыми помещениями
- Безопасные блокировки: перекрытие крышки и аварийная остановка на каждой станции
- Отслеживаемость данных: хранение рецептов, мониторинг в реальном времени, экспорт через USB/Ethernet (необязательно)
- Низкое содержание: конструкция без вибраций с герметизированными подшипниками
- Бесплатное консультирование по процессу и испытания материалов (направьте нам ваши субстраты)
- Установка на месте, калибровка и обучение оператора
- 12-месячная гарантия на все компоненты, пожизненная техническая поддержка
- Доступность запасных частей (качки, насосы, двигатели) в течение 48 часов
- Удаленное устранение неполадок посредством видеозвонка или мониторинга Интернета вещей (настраиваемое)
- Упаковка: Антистатическая пена + арматура из фанеры (с осушителем для компонентов, чувствительных к влаге)
- Морская перевозка: FOB Шанхай / CIF по морю, по воздуху или по железной дороге.
О: У двухстанционных машин есть одна система управления и один рабочий участок, позволяющий одному оператору загружать/разгружать одну станцию, в то время как другой занимается покрытием - исключая время простоя.Это приводит к более низким общим инвестициям, меньшее пространство лаборатории и более высокая производительность.
Каждая станция имеет независимые программируемые элементы управления, что позволяет одновременно покрывать различные материалы или размеры подложки без перекрестного загрязнения.
А: ЧаксынастраиваемыйМы предлагаем стандартные вилки для круглых пластин (2"-12") ина заказ, с механическими механизмамидля квадратных, прямоугольных или нерегулярных субстратов.