 
|
Полностью автоматический 24-станционный спин-покрыватель с настраиваемым распределением и скоростью вращения для высокой однородности и нулевого перекрестного загрязнения
Подробная информация о продукте:
| Место происхождения: | Китай |
| Фирменное наименование: | OSMANUV |
| Сертификация: | ISO9001 |
| Номер модели: | Спецификация |
Оплата и доставка Условия:
| Количество мин заказа: | 1 комплект |
|---|---|
| Цена: | Возможен торг |
| Упаковывая детали: | Деревянная упаковка |
| Время доставки: | 30 дней |
| Поставка способности: | Переговоры |
|
Подробная информация |
|||
| Долговечность покрытия: | Высокая долговечность | Источник света: | IR Light |
|---|---|---|---|
| Использование: | Принтер для бумаги Принтер для этикеток Принтер для карточек | Толщина покрытия: | регулируемый |
| Модель: | OSM-XT-450T | Продуктивная емкость: | 4800pcs/8H |
| ключевые точки продажи: | Покрытие из целлюлозы | Рабочая мощность: | 2,4 кВт |
| Выделить: | Полностью автоматический спин-котер,Покрытие для формования целлюлозы с 24 станциями,Настраиваемая настильная настилка |
||
Характер продукции
ПОЛНОСТЬЮ АВТОМАТИЧЕСКИЙ 24-СВИНТОВЫЙ ПРОЦЕССОР ДЛЯ НИОКР И ПРОИЗВОДСТВА | НАСТРАИВАЕМАЯ ВЫДАЧА И СКОРОСТЬ ОТЖИМА
ЭтотМашина для центрифугирования на 24 станциипредназначен для автоматизированного высокопроизводительного осаждения тонких пленок. В каждую из 24 независимых позиций покрытия можно загрузить подложки диаметром до 200 мм (или квадрат 156×156 мм). Система последовательно выполняет этапы дозирования, ускорения, удержания вращения и удаления краевых валиков с помощьюнастраиваемая база данных рецептов.
Ключевые преимущества
- Нулевое перекрестное загрязнение- индивидуальные чаши и вытяжка для каждой станции
- Высокая однородность< ±3% при 3000 об/мин на всех станциях
- Полная настройка- материал подложки (Si, стекло, полимер, металл), продувка газом (N₂, чистый сухой воздух) и этапы полоскания после отжима.
Технические параметры
| Параметр | Стандартное значение | Настраиваемый диапазон |
|---|---|---|
| Количество станций | 24 | 12/16/24/32 (настраиваемый) |
| Максимальный размер подложки | Диаметр 200 мм или квадрат 156×156 мм. | 50–300 мм (настраиваемый патрон) |
| Диапазон скорости отжима | 0–6000 об/мин | 0–10 000 об/мин |
| Точность скорости | ±1 об/мин | -- |
| Ускорение вращения | 200 - 10000 об/мин/с | настраиваемая до 20000 об/мин/с |
| Равномерность покрытия | < ±3% при 3000 об/мин | ±2% доступно |
| Технологические газы | 1 канал (N₂) | 2–4 газовых канала (настраиваемые) |
| Типы дозирования | Статический/динамический | До 3 этапов дозирования на рецепт |
| Расход выхлопных газов на станцию | 45 м³/ч | 30–80 м³/ч (настраиваемый) |
| Среда | Совместимость с чистыми помещениями класса 10 | Вариант класса 1 |
| Источник питания | 400 В/50 Гц/3П | 208–480 В (настраиваемый) |
| Размеры машины (Ш×Д×В) | 2100×1200×1900 мм | ширина/глубинанастраиваемый |
Интеграция производственной линии
При интеграции в линию нанесения покрытия центрифугирующая машина на 24 станции обычно работает с:
- Погрузчик/разгрузчик(магазин-к-магазину или кассета-кассета) -настраиваемый интерфейс
- Станция предварительной центровки- дополнительное выравнивание края/выемки
- Машина для центрифугирования на 24 станции- основной блок
- Устройство для снятия бортов (EBR)- встроенная или отдельная станция
- Форма для выпечки после нанесения покрытия- конфорка или ИК (программируемый)
- Охлаждающая станция- активный или пассивный
- Центральная система дозирования химикатов- 1-12 бутылок с автопополнением
- Система восстановления выхлопных газов и растворителей- настраивается под фоторезист, ПИ, ПММА и т. д.
Приложения
- Полупроводник- фоторезистное покрытие (i-line, КрФ, АрФ)
- Перовскитовые солнечные элементы- равномерное нанесение на большую площадь
- OLED/QLED- слои инжекции/транспорта скважин
- МЭМС и микрофлюидика- СУ-8, ПДМС, полимерные покрытия
- НИОКР и пилотная линия- разработка многосубстратного процесса
- Стеклянные/сапфировые/керамические подложки- выравнивание поверхности
- Литиевая батарея- суспензионное покрытие на сепараторе или электроде
Параметры настройки
ЭтотМашина центрифугирования на 24 станции имеет широкие возможности настройкив следующих аспектах:
- Размер и форма подложки- круглые, квадратные, прямоугольные или нестандартные вырезы
- Конструкция патрона- вакуумный, механический зажим или электростатический патрон
- Материал чаши- ПП, ПВДФ, ПТФЭ или нержавеющая сталь (для агрессивных растворителей)
- Раздаточные насадки- до 3-х независимых форсунок на станцию,настраиваемое движение XY
- Технологические газы- N₂, чистый сухой воздух, Ar или формовочный газ
- Промывка задней стороны и удаление краевых валиков- программируемый
- Библиотека рецептов- неограниченное хранилище для более 1000 индивидуальных рецептов
- Интерфейс- SMEMA, SECS/GEM, OPC-UA или Modbus TCP
- Безопасность- взрывозащищенное исполнение для горючих растворителей
Ключевые особенности
- Независимый мониторинг станции- каждая станция отслеживает динамику толщины пленки и историю сигналов тревоги
- Активная блокировка крышки- предотвращает работу при открытой крышке чаши
- Уловитель капель растворителя- уменьшает частоту технического обслуживания
- Быстрая загрузка рецептов- < 1 секунды для переключения всех 24 станций
- Регистрация данных- Экспорт CSV для каждой станции (скорость вращения в зависимости от времени)
- Конструкция с низким уровнем вибрации- < 0,5 мкм/с² при максимальной скорости
- Энергосберегающий режим- Скорость выхлопа автоматически снижается на холостом ходу
Поддержка и услуги
- Руководство по удаленной установке- включена настройка видеозвонка
- Круглосуточная техническая поддержка- дежурная команда инженеров (английский/китайский)
- Обучение на месте- по желанию (3 дня)
- 12-месячная гарантия- продлевается до 36 месяцев
- Наличие запасных частей- 5 лет гарантии
- Поддержка разработки процессов- бесплатная оптимизация рецептов под ваш материал
Упаковка и доставка
| Элемент | Метод |
|---|---|
| Упаковка | Вакуумная упаковка + антистатический пенопласт + фанерный ящик (защита от коррозии ЛИК) |
| Срок доставки | FOB/CIF/DDP (выберите по цене) |
| Время выполнения | 45–60 рабочих дней (по индивидуальному заказу: +15 дней) |
| Транспорт | 40-футовый контейнер HC (1 единица в контейнере) или авиаперевозка для срочных заказов |
| Документы | Коммерческий счет, упаковочный лист, декларация CE, руководство по эксплуатации (цифровое + печатное) |
Часто задаваемые вопросы
В1: Можно ли одновременно наносить покрытие на разные подложки на разных станциях?
О: Да, каждая станция работает независимо. Например, станции 1–6 могут покрывать 4-дюймовые пластины, а станции 7–12 — 6-дюймовые пластины.полностью настраиваемый.
В2: Поддерживает ли машина материалы высокой вязкости (> 1000 сП)?
А: Да. Мы предоставляемнастраиваемыймоторы медленного и высокомоментного вращения (до 1,5 Н*м) для толстого фоторезиста или полиимида.
В3: Сколько времени занимает переход с одного фоторезиста на другой?
О: с дополнительнымнастраиваемый дизайн чаши для быстрой очистки, переключение < 10 минут на станцию. Центральные химические линии могут промываться автоматически.
Хотите узнать больше подробностей об этом продукте
