Промышленный одностанционный спин-котер с ±1% однородностью

Эта машина для центрифугирования с одной станцией предназначена для точного и равномерного нанесения фоторезиста, полимеров, золь-гель материалов, наночастиц и других функциональных жидкостей на подложки размером от небольших фрагментов до 8-дюймовых пластин. В системе используется высокостабильный бесщеточный двигатель постоянного тока с программируемыми профилями скорости и ускорения, обеспечивающий повторяемые результаты нанесения тонкопленочного покрытия. Идеально подходит для исследований и разработок полупроводников, изготовления MEMS, перовскитных солнечных элементов и нанесения оптических покрытий.Система полностью настраиваемаразмером патрона, материалом чаши, характеристиками двигателя и дополнительными модулями нагрева или УФ-отверждения.

• Основной блок Spin Coating (конструкция с одной чашей)
• Вакуумный патрон с комплектом переходников для подложки
• Программируемый цифровой контроллер (сенсорный HMI)
• Безмасляный вакуумный насос (≥60 л/мин)
• Автоматическая или ручная система дозирования (шприц/насадка)
• Сборка выпускного и дренажного порта
• Вход для продувки азотом для защиты уплотнений двигателя
• Опционально: встроенная нагревательная пластина/модуль УФ-отверждения.

• Полупроводники и МЭМС- Фоторезистное покрытие для литографии.
• Перовскит и органические солнечные элементы- Тонкопленочное осаждение
• Оптические покрытия- Антибликовые и фильтрующие слои
• Биомедицинские устройства- Биополимерные и элюирующие лекарственные средства покрытия.
• Графен и 2D-материалы- Равномерное дисперсионное покрытие
• OLED и квантовые точки- Нанесение эмиссионного слоя
• Стекло и керамическое покрытие- Золь-гель и защитные слои

Мы предлагаемполная настройкавключая:

• Размер и форма вакуумного патрона (круглый/квадратный/фрагментный, от 3 мм до 450 мм)
• Материал чаши: ПТФЭ, Teflon®, нержавеющая сталь или алюминий для химической стойкости.
• Модернизация двигателя: серводвигатель с более высокой точностью и расширенным диапазоном скоростей.
• Интегрированные модули: нагревательная пластина (до 300°C), УФ-отверждение (светодиод 365 нм/395 нм)
• Автоматическая система дозирования: программируемый шприцевой насос или распылительная насадка.
• Система выхлопа: активная химическая вытяжка дыма с HEPA-фильтром.
• Программное обеспечение: управление индивидуальными рецептами, регистрация данных и удаленное управление.
• Несколько чаш для быстрой смены материала без перекрестного загрязнения.

• Равномерность толщины пленки ±1% по всей подложке
• Мгновенное ускорение до 30 000 об/мин для получения острых профилей покрытия.
• ПЛК с сенсорным экраном и отображением скорости и времени в реальном времени.
• Блокировка вакуума — автоматически отключается, если вакуум падает ниже порогового значения.
• Конструкция чаши с защитой от капель и брызг.
• Продувка азотом продлевает срок службы двигателя и защищает чувствительные покрытия.
• Компактная настольная поверхность экономит лабораторное пространство
• ESD-безопасная конструкция для чувствительных электронных материалов

• Бесплатный образец покрытия с подробным отчетом об однородности
• Установка на месте и обучение операторов (опционально)
• Гарантия 24 месяца на двигатель и контроллер.
• Пожизненная удаленная техническая поддержка по видеозвонку/электронной почте.
• В комплект входят запасные части (вакуумные уплотнения, уплотнительные кольца, предохранители)
• Изготовление патронов по индивидуальному заказу для нестандартных материалов.

• Упаковка:Антистатическая пена + вакуумный пакет + усиленный ящик из экспортной фанеры
• Перевозки:FOB Шанхай/Шэньчжэнь/Гуанчжоу
• Время выполнения:10–25 рабочих дней (зависит от уровня настройки)
• Способы доставки:Воздушные перевозки (для небольших единиц), морские перевозки (для промышленных систем), экспресс-доставка (DHL/FedEx)

А: Да.Мы полностью настраиваемлюбая форма и размер патрона, включая квадратные, прямоугольные и нестандартные фрагменты размером до 450 мм.

A: Обычно от 0,1 до 200 мкм в зависимости от вязкости материала и скорости вращения. Мы можем настроить профили вращения, чтобы оптимизировать толщину для вашего конкретного материала покрытия.

А: Да. Опция серводвигателя обеспечивает более высокий крутящий момент для толстых материалов. Мы также можем настроить дозирующее сопло и задержку предварительного отжима.