|
Подробная информация о продукте:
|
| Напряжение: | 220 В/380 В | Скорость конвейера: | 25 ~ 80 м/мин |
|---|---|---|---|
| Мощность главного двигателя: | 1,5 кВт | Эффективная ширина выравнивания: | 920 мм |
| Материал покрытия: | Различные материалы | Тип УФ-лампы: | Меркурий Лампа |
| Ошибка перемотки складывания: | ±0,1 мм | Тип сушки: | ИК-сушка |
| Выделить: | Промышленная система обработки лазеров эксимера,гибкая линия производства лазеров эксимера,конструируемые параметры UV-покрытия |
||
Эта промышленная система лазерной обработки эксимера предназначена для высокоточной микрофабрикации, отжига полупроводников и тонкопленочного рисунка.Он поддерживает полную интеграцию в автоматизированные производственные линии с мониторингом в реальном времениСистема оснащена газовым источником эксимера с долгой жизнью оптики и управлением процессом с помощью ИИ.
| Параметр | Диапазон значений (стандарт) | Вариант настройки |
|---|---|---|
| Длина волны | 193 нм / 248 нм / 308 нм | Переключатель с несколькими длинами волн (по желанию) |
| Максимальная энергия импульса | 0.5 - 1200 мДж | До 2000 мДж (на заказ) |
| Частота импульса | 1 - 6000 Гц | До 10 кГц (по индивидуальному заказу) |
| Средняя мощность | 5 - 300 Вт | Доступно пользовательское масштабирование |
| Размер луча (выход) | 10 × 10 мм | прямоугольная балка до 50×50 мм (на заказ) |
| Однородность луча | < ± 3% (σ) | < ± 1% (обычная оптика) |
| Интеграция производственной линии | SMEMA / SECS / GEM | Протокол PLC по заказу (по заказу) |
Мы предлагаемполная настройкаВыбор длины волны, энергия импульса, размер поля сканирования, газовая смесь, метод охлаждения (воздух/вода/охладитель) и протокол связи на производственной линии.По запросу также доступны настраиваемые руки доставки луча и корпуса класса 1..
Контактное лицо: Mr. Zhang guoxin
Телефон: +86 13926890692
Факс: 86-769-88120350