logo
vr
Что такое?
8618929213528
Качество Промышленная система обработки лазера эксимера. Гибкая интеграция производственной линии и полностью настраиваемые параметры. фабрика
<
Качество Промышленная система обработки лазера эксимера. Гибкая интеграция производственной линии и полностью настраиваемые параметры. фабрика
Качество Промышленная система обработки лазера эксимера. Гибкая интеграция производственной линии и полностью настраиваемые параметры. фабрика
Качество Промышленная система обработки лазера эксимера. Гибкая интеграция производственной линии и полностью настраиваемые параметры. фабрика
Качество Промышленная система обработки лазера эксимера. Гибкая интеграция производственной линии и полностью настраиваемые параметры. фабрика
Качество Промышленная система обработки лазера эксимера. Гибкая интеграция производственной линии и полностью настраиваемые параметры. фабрика
Качество Промышленная система обработки лазера эксимера. Гибкая интеграция производственной линии и полностью настраиваемые параметры. фабрика
>

Промышленная система обработки лазера эксимера. Гибкая интеграция производственной линии и полностью настраиваемые параметры.

Промышленная система обработки лазера эксимера. Гибкая интеграция производственной линии и полностью настраиваемые параметры.
Промышленная система обработки лазера эксимера Гибкая интеграция производственной линии и полностью настраиваемые параметры Обзор продукции Эта промышленная система лазерной обработки эксимера предназначена для высокоточной микрофабрикации, отжига полупроводников и тонкопленочного рисунка.Он поддерж...
Place of Origin:Китай
Brand Name:OSMANUV
Certification:ISO9001
Model Number:Спецификация
Minimum Order Quantity:1 комплект
Price:Возможен торг
Product Custom Attributes
Выделить

Промышленная система обработки лазеров эксимера

,

гибкая линия производства лазеров эксимера

,

конструируемые параметры UV-покрытия

Напряжение:
220 В/380 В
Скорость конвейера:
25 ~ 80 м/мин
Мощность главного двигателя:
1,5 кВт
Эффективная ширина выравнивания:
920 мм
Материал покрытия:
Различные материалы
Тип УФ-лампы:
Меркурий Лампа
Ошибка перемотки складывания:
±0,1 мм
Тип сушки:
ИК-сушка
Product Description
Промышленная система обработки лазера эксимера
Гибкая интеграция производственной линии и полностью настраиваемые параметры
Обзор продукции

Эта промышленная система лазерной обработки эксимера предназначена для высокоточной микрофабрикации, отжига полупроводников и тонкопленочного рисунка.Он поддерживает полную интеграцию в автоматизированные производственные линии с мониторингом в реальном времениСистема оснащена газовым источником эксимера с долгой жизнью оптики и управлением процессом с помощью ИИ.

Состав производственной линии
  • Объект источника лазера экцимера
  • Модуль формирования и гомогенизации луча
  • Высокоскоростной XY-сканирующий этап или блок проекции маски
  • Робот для обработки подложки на линии (настраиваемая ширина рельса)
  • Система управления выхлопными газами
  • ПК управления процессом с менеджером рецептов
Технические параметры
Параметр Диапазон значений (стандарт) Вариант настройки
Длина волны 193 нм / 248 нм / 308 нм Переключатель с несколькими длинами волн (по желанию)
Максимальная энергия импульса 0.5 - 1200 мДж До 2000 мДж (на заказ)
Частота импульса 1 - 6000 Гц До 10 кГц (по индивидуальному заказу)
Средняя мощность 5 - 300 Вт Доступно пользовательское масштабирование
Размер луча (выход) 10 × 10 мм прямоугольная балка до 50×50 мм (на заказ)
Однородность луча < ± 3% (σ) < ± 1% (обычная оптика)
Интеграция производственной линии SMEMA / SECS / GEM Протокол PLC по заказу (по заказу)
Заявления
  • Кремниевая отжига для расширенных дисплеев (LTPS)
  • MEMS & полупроводниковые пластины
  • Активация поверхности полимера
  • Микроструктуризация медицинских изделий
  • Гибкое бурение ПКБ
Варианты настройки

Мы предлагаемполная настройкаВыбор длины волны, энергия импульса, размер поля сканирования, газовая смесь, метод охлаждения (воздух/вода/охладитель) и протокол связи на производственной линии.По запросу также доступны настраиваемые руки доставки луча и корпуса класса 1..

Ключевые особенности
  • > 2000 часов жизненного цикла газа (оптимизированная газовая смесь)
  • Встроенная энергетическая стабилизация (отзывы в режиме реального времени)
  • Диагностика на расстоянии и предсказательное обслуживание
  • Низкая стоимость владения (LOO) с обходным режимом экономии газа
  • Компактная модульная конструкция для быстрой реконфигурации линии
Поддержка и услуги
  • Техническая поддержка круглосуточная (телефон / удаленная)
  • Установка на месте и интеграция производственной линии
  • Специальное обучение для ваших инженеров
  • Гарантия продлена до 5 лет
  • Программа по перезарядке газа и реконструкции оптики
Упаковка и перевозка
  • Запечатанный в утепленном контейнере с защитой от ударов
  • Вакуумно-запечатанная оптическая коробка
  • Перевозка воздушным или морским транспортом с отслеживанием в реальном времени
  • Экспортные ящики соответствуют стандарту ISPM-15
Часто задаваемые вопросы
Q1: Можете ли вы настроить размер лазерной головки для компактной производственной линии?
Да, лазерная головка и путь доставки лучаполностью настраиваемаячтобы соответствовать узким или нечетным линейным пространствам.
Вопрос 2: Каково время выполнения заказа на заказ?
Стандарт: 8-10 недель; на заказ: 12-14 недель, включая проверку конструкции.
Вопрос 3: Вы поддерживаете интеграцию с существующими МЭС?
Да, мы предоставляемпользовательский SECS/GEM, OPC-UA или Modbusинтерфейсы.
Related Products