24-позиционная система спин-коутинга с интеллектуальной системой рекуперации материала, индивидуальной планшайбой и соплом для минимальных потерь

Этот экономичный 24-станционный спин-покрыватель предназначен для минимизации отходов фоторезистора, полимида или прекурсора раствора в высокопроизводительных линиях покрытия.В отличие от обычных спиновых покрытий, которые выбрасывают лишнюю жидкость., наша система объединяет настраиваемую утилизацию краев (EBR), низкие линии распределения мертвого объема и логику оптимизации предварительного влажения, чтобы уменьшить потребление материала на 25-40%.

Каждая из 24 станций работает с независимым наблюдением за использованием раствора в закрытом цикле.затем автоматически регулирует суммы распределения на субстратВ сочетании с настраиваемыми сосудами для восстановления растворителей система собирает более 85% неотжимаемых химических веществ для повторной фильтрации или удаления, значительно снижая стоимость владения.

Все 24 станции управляются центральным ПЛК + HMI, и блок поддерживает настройку рецепта на станцию - позволяя различные материалы, кривые вращения,и стратегии экономии на соседних станциях одновременно.

При интеграции в материально-эффективную линию покрытия 24-станционный спин-котер сочетается с:

1. Система подачи химических веществ с низким объемом мертвого вещества- 1 - 12 бутылок с остатками < 0,5 мл каждая
2. Предварительная влажная станция- использует переработанные растворители для предварительного намокания субстратов (экономя свежий материал)
3. 24-станционный спин-котер- главный блок с экономными материалами
4. Удаление краевых шариков (EBR) с рекуперацией растворителя-настраиваемая ширина и скорость резки
5. Пекарня и охлаждение после нанесения покрытия- необязательно
6. Отделение химической переработки- фильтрация + перемешивание для некритических слоев
7. Выхлоп с конденсационной ловушкой для растворителей- восстанавливает испаренный растворитель (> 70%)

• Покрытие фоторезистентное к полупроводникам- дешевые фабрики (память, логика, энергетические устройства)
• Перовскитные солнечные батареи- дорогие прекурсорные растворы (Pb, органические галоиды)
• слой впрыска отверстия OLED/QLED- дорогостоящие PEDOT:PSS или полимерные чернила
• Пилотные линии НИОКР- при ограниченном количестве материала
• MEMS и микрофлюида- SU-8, BCB и другие дорогостоящие полимеры
• Покрытие литийных батарей- экономия отходов на сепараторе или электроде
• Любая производственная линия, где стоимость химического покрытия > $100/L

Этот 24-станционный спин-покрыватель очень настраиваемый для достижения наилучшей экономии сырья:

• Тип распределительной сопла- иглой, щелчком или спреем -настраиваемый для соответствия вязкости раствора
• Логика раздачи объема- фиксированное, динамическое или с помощью ИИ обучение минимального объема
• Образец удаления краев шариков (EBR)- положение, ширину, скорость иВключение/выключение рециркуляции растворителей
• Конструкция водоотведения- гладкая отверстие против ребра - влияет на скорость восстановления
• Система восстановления растворителя- интегрированная дистилляция или простой барабан сбора
• Материал химической линии- PP, PTFE или нержавеющая сталь (предотвращает потерю адсорбции)
• Помыть спинку- необязательно, с специальным соприкосновением низкого потока
• Программа предварительного влажения- тип растворителя, объем, скорость вращения -полностью настраиваемый на станцию
• Отчетность- использование материалов на смену/неделю - настраиваемая панель приборов

• Интеллектуальное обнаружение минимального объема- автоматически уменьшает выделение на 5% шагов, пока не будет достигнута однородность
• Отслеживание отходов в замкнутом цикле- отображение в режиме реального времени сохраненного материала на 1000 субстратов
• Низкомерный коллектор жидкости мертвого объема- < 0, 3 мл общего остатка (стандартные конкуренты: 2 - 5 мл)
• цикл переработки растворителя EBR- использованный растворитель, фильтрованный и повторно использованный для предварительного намокания
• Калибровка отдельных станций- каждый объем сопла может быть подстрижен отдельно
• Сигналы о перераспределении- прекращает линию, если использование химических веществ превышает порог рецептуры на > 15%
• Оптимизация вакуумного насоса- минимизирует зону отчуждения краев, экономия материалов на больших подложках
• Приемник для капель с соплами- предотвращает однократное падение потерь во время индекса

• Бесплатный аудит экономии материалов- мы анализируем ваши текущие отходы и оцениваем потенциал экономии
• 24/7 дистанционная поддержка- для настройки и сохранения логики
• Калибровка на месте- необязательно (2 дня), включая объем сопла и EBR
• 12-месячная гарантия- продлена до 24 месяцев, если вы делитесь с нами данными о ежемесячных сбережениях
• Запчасти- программа быстрой доставки для сосудов, клапанов и труб
• Обновление программного обеспечения- новые алгоритмы экономии, предоставляемые бесплатно в течение 2 лет